硅片抛光机作为传统的抛光机常选用沥青作为研具材料，沥青盘最适宜的配方必须根 据不同的工艺条件通过试验后确走，保证有适宜的硬度。

其平面度是靠两平面对研来保证的，工艺性强 。

精抛光公司的平面抛光机选用锡作为研具材料。

锡既具有良好的嵌砂性能，又具有良好的耐磨性，刚性较前者高 。

可以进行锡盘的车削，其上开有一定宽度的周期性同心圆槽，槽脊上车有精细的螺旋槽。

宽槽便于贮存多余的磨料，防止磨料的堆积，避免工件塌边：多余的磨料随时可以参加切削，增加了切削力；硅片抛光机抛光机还可及时排除抛光过程中产生的切屑，避免划伤工件：有助于散热。

箱细螺纹，能够使工件表面 更好地与锡磨盘表面吻合，使抛光波更好地与工件接触。

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