离子抛光非球面零件的工艺过程

用计算机以数学形式来表示光学表面的面形时可以用表面斜率来表示，也就是说可以用单位表面面积的矩阵同表面上某一基准点的相对高度来表示。

离子抛光就是要控制离子束，使其从固体表面每个单位面积上精密地去除不同数量的材料。为了使所去除的材料量随位置不同而不同，离子束聚焦点的大小应该和计算机运算时所用的最小单位面积的直径相一致。从一个确定单位面积所去除的材料量应通过控制入射到那部分面积上的离子总量来实现.在加工过程中，离子种类、离子能量及离子束入射角都须按所要求的值保持不变。

1、光学设计人员用光学设计程序把所要求的光学表面以精密的数学形式表示出来.

2、根据所得到的数学形式，用计算机求出与此表面最接近的球面或抛物面。

3、用普通的研磨抛光方法加工出最接近的球面或抛物面，以便减少离子束抛光所需的时间。对大多数非球面来说，这一最接近表面与最终所要求的表面之差的最大值仅在几微米左右。表面可以用激光千涉仪精确测量其面形。

4、将干涉仪测得的表面面形的数据与用数学形式表达的精密光学表面形状进行比较.通过计算机处理，得到表面误差矩阵。这个矩阵确定了从每一单位面积上应去除的材料的数量.

5、把表面误差矩阵数据送入徽型计算机，然后它驱动离子束作两个坐标方向的扫描运动.计算机直接和离子束系统连接，经放大并控制离子束在光学表面上的位置和停留时间、此外，计算机在操作过程中，用来监视离子束，并对离子束参数的微小变化进行校正。离子束在光学表面某一面积上停留的时间同步
骤4确定的那个面积上应去除的材料量成正比.

6、把经过加工成最接近球面的光学零件放入真空度约为1. 33X10的负三次方-l X10的负4次方Pa的真空靶室内，在计算机的控制下，用离子束轰击工件表面使其达到所需的面形。由于材料去除的精度很高，因此有可能在完全开环下直接获得所要求的面形。也就是说，从成型加工的开始到结束，不必进行多次的面形测量.

本文来自河南中原精抛光机制造厂：http://www.hnpaoguangji.com/news/2012-7-8202.html,转载请注明出处！