离子抛光机的结构

离子抛光机由离子束发生器、加速管、偏转装置和真空室等部分所组成。

离子束发生器是一个射颇离子源，它由一个栩合在调谐射频线路上的等离子瓶组成。

离子像工作时，在射颇场中的电子获得能盆并产生振荡，然后按其轨道使气体的原子电离。

由于等离子瓶后端充有正电荷，正离子被迫从出口管冲出去，在出口管处形成等离子区。

出口管四周由密封的空间电荷所围绕.它将离子从等离子区吸出，进入加速管。

在加速管中离子经多级加速而获得较高的能量。

管中的隙透镜、聚焦电极和加速环用来确定离子束的形状。

双轴电磁偏转系统通过偏转放大系统与微型计算机辆合，使离子束按类似于扫描的形式在工件表面沿两个独立的坐标方向偏转士10cm。

离子束进入真空室后以要求的入射角投射到被加工工件的表面，进行抛光加工。

本文来自河南中原精抛光机制造厂：http://www.hnpaoguangji.com/news/2012-6-2155.html,转载请注明出处！